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致力于提供世界最優(yōu)秀的膜厚控制方案，讓鍍膜簡(jiǎn)單起來(lái) |
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致力于提供世界最優(yōu)秀的膜厚控制方案，讓鍍膜簡(jiǎn)單起來(lái) |
MXC-3B、MXC-3、XDM-3K、MXC-3K共四款晶控儀。 所有型號(hào)核心功能相近，基本操作相近，擴(kuò)展功能略不同。 熱賣(mài)型號(hào)有屏幕大易操作的MXC-3B和節(jié)省面板空間的MXC-3。 XDM-3K、MXC-3K型號(hào)慢慢淡出，僅備有少量現(xiàn)貨作為外司x60的應(yīng)急替代品，不建議裝新機(jī)使用。 這些晶控儀對(duì)現(xiàn)有其他晶控儀具有非常良好的兼容性，可到資料下載頁(yè)下載替換方法，或咨詢(xún)我公司人員。
型號(hào) |
MXC-3B | MXC-3K(停產(chǎn)) 少量現(xiàn)貨 |
XDM-3K(停產(chǎn)) 少量現(xiàn)貨 |
MXC-3 | |
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晶振片 |
6MHz |
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分辨率 |
0.005Hz |
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穩(wěn)定度 |
1ppm |
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探頭 |
1 |
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IO口 |
8輸入，12輸出 | 8輸入，10輸出 |
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源輸出 |
3個(gè), 0~10V, 16bit. MXC源1可設(shè)定0~-7.5V |
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觸控屏 |
7寸 | 5寸真彩色，中文/英文 |
4.3寸，中英文 | ||
外形尺寸 |
220*132*300 | (寬*高*深)480*88*300 |
203*88*300 | ||
材料數(shù) |
96 | ||||
層數(shù) |
48層/膜系 |
112層/膜系 |
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膜系數(shù) |
72 | 72 |
20 |
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U盤(pán) |
-- |
支持 |
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多層法 |
-- |
支持 |
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厚度補(bǔ)償 |
-- |
可選 |
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六探頭 |
-- |
支持 |
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SiO2成膜過(guò)程手機(jī)拍攝視頻:SiO2-EGun.3gp(3,815KB)，另存為，然后擴(kuò)展更名.3gp
以下成膜結(jié)果全部是某用戶(hù)只使用XDM監(jiān)控速率及厚度，且只使用一片晶振片
MXC的安裝非常簡(jiǎn)單，晶控儀附帶的振蕩包及電纜線(xiàn)，想接錯(cuò)都難。為了完成鍍膜控制，需要用戶(hù)外接電纜，這與常用的晶控儀是一樣的。
MXC蒸發(fā)源功率控制接口為BNC座，建議外接同軸電纜或屏幕線(xiàn)至蒸發(fā)源控制器。
MXC的數(shù)字輸入用于接受外部條件或命令，例如坩堝到位或外部開(kāi)始及停止命令等相對(duì)晶控儀來(lái)說(shuō)的外部信號(hào)。
MXC的數(shù)字輸出用于輸出晶控儀的狀態(tài)，或執(zhí)行過(guò)程控制動(dòng)作，例如膜系完了、報(bào)警、晶振失效等狀態(tài)以及驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)、驅(qū)動(dòng)擋板等對(duì)外控制動(dòng)作。
MXC的數(shù)字輸入輸出端口位于后面板的兩個(gè)DRSub公接口座。以MXC-3B的IO1為例，IO1是DR25公座，即有25個(gè)管腳的針式D-Sub。用戶(hù)需要自備一個(gè)DB25母頭，在對(duì)應(yīng)的管腳位置焊接連線(xiàn)即可。MXC輸入輸出的管腳分配在說(shuō)明書(shū)中有，在配置參數(shù)界面也有，相當(dāng)于隨儀器帶有說(shuō)明書(shū)。
外部數(shù)字輸入輸出接線(xiàn)完成后，在MXC界面上配置一下就可以完成對(duì)應(yīng)的功能，非常直觀，點(diǎn)擊幾次界面即可完成。
MXC共有8個(gè)數(shù)字輸入端口，每個(gè)端口對(duì)應(yīng)一個(gè)管腳。為達(dá)成輸入回路，另外需要一個(gè)公共地管腳�？扇我馀渲妹總�(gè)端口的功能，如坩堝到位。
MXC-3B有12個(gè)數(shù)字輸出端口，其余型號(hào)有10個(gè)數(shù)字輸出端口，為常開(kāi)繼電器輸出，即每個(gè)端口對(duì)應(yīng)兩個(gè)公座上的管腳。輸出端口也可在MXC支持的輸出功能中任意配置。
例如要控制擋板1，從任意一個(gè)輸出端口的兩個(gè)管腳分別引線(xiàn)至原蒸發(fā)源1的擋板手動(dòng)按鈕開(kāi)關(guān)的兩端，將此輸出端口配置成源1擋板即可。
功能配置完成后，別忘了在配置參數(shù)界面保存。在探頭與接口頁(yè)面，可看到當(dāng)前的輸入輸出狀態(tài)，還可強(qiáng)制執(zhí)行輸出繼電器的閉合與斷開(kāi)，轉(zhuǎn)動(dòng)坩堝等，調(diào)試時(shí)用用還是非常非常方便的。
真實(shí)配置舉例：xdm-seutp.pdf
全中文觸摸界面，讓理解與操作變得非常直觀。話(huà)說(shuō)只需要認(rèn)識(shí)幾個(gè)漢字...
目前MXC支持的界面語(yǔ)言為英文與簡(jiǎn)體中文，用戶(hù)可自行配置，默認(rèn)為簡(jiǎn)體中文。如果用戶(hù)需要其他界面，如繁體、日文、法語(yǔ)，可商談...
具體操作可參看基本操作
